Dry Etch

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  HIgh Density Plasma
       
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Type

Products

Batch

High Density Plasma Etching System for Magnetic Materials(Etcher-100M)

(ref1), (ref2), (ref3), (ref4), (ref5), (ref6), (ref7), (ref8), (ref9), (ref10), (ref11), (ref12), (ref13), (ref14), (ref16)   

ICP-RIE System for Nano-Patterning(Etch-200)
(ref1), (ref2), (ref3), (ref4), (ref5), (ref6), (ref7), (ref8), (ref9), (ref10), (ref11)    

Cluster

High Density Plasma Etching System for Waveguides(Cluster Etch-300)